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发明名称 METHOD FOR FORMING RECESSED DIELECTRIC ISOLATION
摘要
申请公布号 EP0071204(A3) 申请公布日期 1986.08.20
申请号 EP19820106655 申请日期 1982.07.23
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 PLISKIN, WILLIAM AARON;RISEMAN, JACOB;SHEPARD, JOSEPH FRANCIS
分类号 H01L21/70;H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/70
代理机构 代理人
主权项
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