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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6136719(B2)
申请公布日期
1986.08.20
申请号
JP19790033741
申请日期
1979.03.22
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
SAKUMA ISAMU;NISHIDA KATSUHIKO
分类号
H01L21/208;H01S5/00
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
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