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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6136700(B2)	申请公布日期	1986.08.20
申请号	JP19790137154	申请日期	1979.10.23
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	IMANAKA SEIJI
分类号	F26B5/08;D06F37/00;D06F37/24;H01L21/304	主分类号	F26B5/08
代理机构		代理人
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