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发明名称 PLASMA-REACTOR AND ITS USE IN ETCHING AND COATING SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0089382(B1) 申请公布日期 1986.08.20
申请号 EP19820102224 申请日期 1982.03.18
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HINKEL, HOLGER, DR. DIPL.-PHYS.;KAUS, GERHARD, DR. DIPL.-MIN.;KRAUS, GEORG;KUENZEL, ULRICH, DR. DIPL.-CHEM.;MUHL, REINHOLD
分类号 H01L21/302;C23C4/00;C23C16/50;C23C16/509;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50;C23C14/40 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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