Platinum Resistance Thermometer and Method for Forming a Platinum Resistance Thermometer.

摘要

Un thermomètre à résistance en platine (10) est formé par un procédé qui inclut la définition d'un chemin pour le thermomètre de résistance dans un matériau inerte (28) déposé dans une couche du substrat (24). La surface du substrat (26) est exposée dans le chemin, et le matériau inerte (28) constitue un modèle négatif pour le chemin. Le matériau résistif pour le thermomètre est ensuite déposé à la fois sur la surface du substrat (26) exposé, dans le chemin et sur les surfaces (32, 34) du matériau inerte qui reste sur le substrat. Après ceci, le matériau inerte (28) est attaqué, et le matériau resistif (40) déposé sur le matériau inerte (28) est ensuite dégagé et peut être enlevé, pour laisser une bande (12) de matériau résistif dans le chemin souhaité pour former le thermomètre résistif (10). La bande (12) a un faible degré de contamination et d'impuretés, ce qui permet d'atteindre plus facilement le coefficient thermique de résistance souhaité pour la bande (12) qui constitue le thermomètre.