| 发明名称 |
SISTEMA PER IL TRATTAMENTO ED IL TRASFERIMENTO DI ELEMENTI STRATIFICATI SOTTILI (WAFER) A SEMICONDUTTORI |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IT1134852(B) |
申请公布日期 |
1986.08.20 |
| 申请号 |
IT19800026865 |
申请日期 |
1980.12.22 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES INC |
发明人 |
COAD GEORGE L.;SHAW RAYMOND HOWARD;HUTCHINSON MARTIN ALBERT |
| 分类号 |
B65G1/00;B65G1/16;B65G49/07;C23C14/56;H01L21/67;H01L21/677;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
B65G1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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