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发明名称
摘要
申请公布号
JPS61131833(U)
申请公布日期
1986.08.18
申请号
JP19850014622U
申请日期
1985.02.06
申请人
发明人
分类号
H01L21/52;H01L21/58;H01L21/60;H01L23/48;(IPC1-7):H01L21/58
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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