发明名称 |
MAKING OF INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS61184823(A) |
申请公布日期 |
1986.08.18 |
申请号 |
JP19850212025 |
申请日期 |
1985.09.25 |
申请人 |
TEXAS INSTR INC |
发明人 |
TOOMASU DEII BONIFUIIRUDO;MONTE EI DAGURASU |
分类号 |
H01L21/3213;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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