发明名称 MAKING OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS61184823(A) 申请公布日期 1986.08.18
申请号 JP19850212025 申请日期 1985.09.25
申请人 TEXAS INSTR INC 发明人 TOOMASU DEII BONIFUIIRUDO;MONTE EI DAGURASU
分类号 H01L21/3213;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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