发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THE MICRO-ANALYSIS OR IMAGING OF SAMPLES. |
摘要 |
Un appareil de micro-analyse ou de visionnement d'échantillons comprend: a) un agencement pour produire un faisceau atomique neutre de balayage microscopiquement focalisé, agencement qui comprend à son tour; (i) un dispositif (1) de génération d'un faisceau d'ions, (ii) un dispositif (4) de balayage du faisceau d'ions, (iii) un dispositif (5) pour focaliser le faisceau d'ions sur l'endroit où l'échantillon (8) sera localisé; et (iv) un dispositif d'échange de charge (6) entre le dispositif de focalisation et l'emplacement de l'échantillon qui permet d'obtenir un faisceau neutre de balayage focalisé sur l'échantillon; et b) un dispositif de détection (9) pour détecter les particules émises par l'échantillon. |
申请公布号 |
EP0190251(A1) |
申请公布日期 |
1986.08.13 |
申请号 |
EP19850903885 |
申请日期 |
1985.08.02 |
申请人 |
UNIVERSITY OF MANCHESTER INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY |
发明人 |
ECCLES, ADRIAN, JOHN;BROWN, ALAN;VICKERMAN, JOHN, CHARLES;VAN DEN BERG, JAKOB, ALBERT |
分类号 |
G01N23/22;H01J37/256;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/256 |
主分类号 |
G01N23/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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