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发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER EINKRISTALLINE ODER TEXTURIERTE SCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD238172(A3) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 DD19810230389 申请日期 1981.05.29
申请人 HAMANN,CLAUS,DD;KAMPFRATH,GERIT,DD;PRZYBOROWSKI,FRANK,DD;REINHARDT,CAROLA,DD;VOLLMANN,WALTRAUD,DD 发明人 HAMANN,CLAUS,DD;KAMPFRATH,GERIT,DD;PRZYBOROWSKI,FRANK,DD;REINHARDT,CAROLA,DD;VOLLMANN,WALTRAUD,DD
分类号 C30B23/02;C30B25/02;H01L21/20;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 C30B23/02
代理机构 代理人
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