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发明名称 PLASMA DEPOSITION OF AMORPHOUS MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0060625(B1) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 EP19820300917 申请日期 1982.02.23
申请人 ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. 发明人 CANNELLA, VINCENT D.;IZU, MASATSUGU
分类号 H01L31/04;C23C16/24;C23C16/509;H01L21/205;(IPC1-7):H01L31/18;C23C16/50 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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