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经营范围
发明名称
ORGANOMETALLIC CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION OF FILMS
摘要
申请公布号
EP0106537(A3)
申请公布日期
1986.08.13
申请号
EP19830305383
申请日期
1983.09.14
申请人
THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE IN HER BRITANNIC MAJESTY'S GOVERNMENT OF THE UNITED KINGDOM OF GREAT BRITAIN AND
发明人
COCKAYNE, BRIAN;GRIFFITHS, RICHARD JOHN MOSTYN;WRIGHT, PETER JOHN
分类号
C01G9/02;C01B19/04;C01B21/06;C01B25/08;C01B33/20;C01B39/06;C01G9/08;C01G11/00;C01G11/02;C01G13/00;C01G30/00;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/40;(IPC1-7):C23C11/00;H01L21/205;H01L21/365
主分类号
C01G9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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