发明名称 ORGANOMETALLIC CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION OF FILMS
摘要
申请公布号 EP0106537(A3) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 EP19830305383 申请日期 1983.09.14
申请人 THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE IN HER BRITANNIC MAJESTY'S GOVERNMENT OF THE UNITED KINGDOM OF GREAT BRITAIN AND 发明人 COCKAYNE, BRIAN;GRIFFITHS, RICHARD JOHN MOSTYN;WRIGHT, PETER JOHN
分类号 C01G9/02;C01B19/04;C01B21/06;C01B25/08;C01B33/20;C01B39/06;C01G9/08;C01G11/00;C01G11/02;C01G13/00;C01G30/00;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/40;(IPC1-7):C23C11/00;H01L21/205;H01L21/365 主分类号 C01G9/02
代理机构 代理人
主权项
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