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发明名称 THIOFORMAMIDE DERIVATIVE AND MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS61129180(U) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 JP19840198912U 申请日期 1984.12.28
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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