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发明名称 FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 GB8616735(D0) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 GB19860016735 申请日期 1986.07.09
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人
分类号 H01L21/033;H01L21/225;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/18 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
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