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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6127179(Y2) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 JP19810082376U 申请日期 1981.06.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/30;B65D85/38;B65D85/57;B65D85/86;H01L21/027;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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