用于无掩模被覆金属方法的扩散隔离层

摘要

对已有金属图形进行被覆的无掩膜金属被覆法中，采用了隔离保护层来保护它下面的不希望覆盖其它金属的区域，以不使重金属在上沉积及随后扩散。选择该层的组成，使其具有经受处理和支撑金属被覆层的足够机械强度，以及具有经受金属溅散和扩散过程中高温的热牢固性。此保护层含有有机成分粘结剂，此粘结剂在沉积金属前的加热步骤中、或就在扩散过程中热分解，留下一个惰性的、不含碳的无机隔离层来支持金属被覆层。

主权项

1、一种方法，此方法用于将金属有选择地覆盖在许多彼此隔开的金属区中的一部分区上，这些金属区是暴露在一个基片的表面上的。其特征在于如下步骤：在许多选择出来的所说金属区上覆盖一层可去除的保护层；在上述基片表面，包括无保护层的所说金属区覆盖一层重金属薄层；加热所说基片，使该重金属薄层与所说无保护层金属区慢慢混合并熔合；以及从所说表面的非金属区去除所说重金属薄层，而同时从所说的选择出来的金属区去除所说的保护层和覆盖的重金属薄层。