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发明名称 SAMPLES HOLDER FOR SECONDARY ION MASS SPECTROSCOPY (SIMS) AND OTHER HIGH ACCURACY METHODS OF ANALYZING PARTICLE RAYS, AND METHOD OF OPERATING IT
摘要
申请公布号 EP0136610(A3) 申请公布日期 1986.08.13
申请号 EP19840111011 申请日期 1984.09.14
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 VON CRIEGERN, ROLF, DIPL.-PHYS.;WEITZEL, INGO, DIPL.-PHYS.
分类号 G01N23/225;H01J37/20;H01J49/04;(IPC1-7):H01J49/04 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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