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发明名称 SPUTTERANLAGE ZUM REAKTIVEN BESCHICHTEN EINES SUBSTRATES MIT HARTSTOFFEN
摘要
申请公布号 DE3503398(A1) 申请公布日期 1986.08.07
申请号 DE19853503398 申请日期 1985.02.01
申请人 W.C.HERAEUS GMBH 发明人 HERKLOTZ,GUENTER,DR.;ELIGEHAUSEN,HANS,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34;B05D1/04 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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