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发明名称 DAMPFQUELLE FUER VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号 DE3506671(A1) 申请公布日期 1986.08.07
申请号 DE19853506671 申请日期 1985.02.26
申请人 BALZERS HOCHVAKUUM GMBH 发明人 WEGMANN SASCHELA,URS
分类号 C23C14/30;H01J37/305;(IPC1-7):C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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