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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0103337(B1) 申请公布日期 1986.08.06
申请号 EP19830201285 申请日期 1983.09.06
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 VOLLENBROEK, FRANCISCUS ANTONIUS;SPIERTZ, ELISABETH JACOBA
分类号 G03F7/26;G03F7/022;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/306;(IPC1-7):G03F7/26;G03F7/08 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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