监控光学镀膜厚度的双光束光学系统

摘要

监控光学镀膜厚度的双光束光学系统形式上和已有的单接收器单光路监控光学系统相同，差别是在角可变滤光片(或单色仪出狭缝)之后置一块等双孔光栏，分单束光为参考和测量两束光，再用双排孔调制扇分别调制这两束光，于是构成全对称双光束光学系统。它使电子学系统容易解决基线平直度、漂移、噪声、杂光信号和电磁场信号干扰，以致于真空室窗口溅射膜的影响都可以完全消除。

主权项

1、一种监控光学镀膜厚度的双光束光学系统是由光源、单色仪、光栏、调制扇、接收器及光学元件组成。其特征在于采用等双孔光栏[4]和双排孔调制扇[5]。