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发明名称 NEGATIVE-ACTING PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 EP0143597(A3) 申请公布日期 1986.07.30
申请号 EP19840308046 申请日期 1984.11.20
申请人 MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY 发明人 KAUSCH, WILLIAM L. C/O MINNESOTA MINING AND
分类号 C07D251/24;G03F7/004;G03F7/027;G03F7/038;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 C07D251/24
代理机构 代理人
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