| 摘要 |
<p>Bei einem Magnetfeldsensor mit wenigstens einem auf einem ebenen Träger aufgebrachten streifenförmigen magnetfeldabhängigen Widerstand sind zwecks Erhöhung des Auflösungsvermögens und zur Ermöglichung einer Miniaturisierung des Magnetfeldsensors erfindungsgemäß n · 2 mit n = 1, 2, 3... eng benachbarte parallele magnetfeldabhängige Widerstände (2 bis 9) vorgesehen und je zwei (2, 3; 4, 5; 6, 7; 8, 9) an den einen Enden (11) elektrisch miteinander verbunden und bilden ein Widerstandspaar und an den anderen Enden (16) sind Anschlußelektroden (17 bis 21) vorgesehen, und die magnetfeldabhängigen Widerstände (2 bis 9) bestehen aus einem ferromagnetischen Material und sind in einer Dicke von maximal 0,5µm auf den Träger aufgebracht und derart durch ein Magnetfeld behandelt, daß sie eine einachsige Anisotropie mit der leichten Richtung parallel zur Streifenlängsrichtung (10) und damit eine nichtlineare Kennlinie RM = f(H) besitzen, wobei RM der magnetische Widerstand und H ein diesen beeinflussendes veränderbares Magnetfeld senkrecht zur Streifenlängsrichtung (10) und in der Ebene der magnetfeldabhängigen Widerstände (2 bis 9) bzw. des Trägers (1) bedeutet.</p> |
