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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6132825(B2) 申请公布日期 1986.07.29
申请号 JP19760017835 申请日期 1976.02.20
申请人 SIEMENS AG 发明人 YURUGEN GURAURU;HERUMUUTO MURUMAN
分类号 H01L21/265;H01L21/331;H01L29/10;H01L29/36;H01L29/73;H01L29/732 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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