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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6132814(B2)	申请公布日期	1986.07.29
申请号	JP19770124472	申请日期	1977.10.19
申请人	SHINKAWA KK	发明人	TAKASAKI MASAJIRO;HAYAKAWA KAZUHIRO
分类号	H01L21/60	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
主权项
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