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发明名称 PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPS61164224(A) 申请公布日期 1986.07.24
申请号 JP19850179578 申请日期 1985.08.16
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP 发明人 SAAYADEBUARA BUIJIYAYAKUMAARU BABU;RONARUDO SUCHIIBUN HAAWASU;NENGU SHINGU RUU;JIYON ANDORIYUU UERUSHIYU
分类号 C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;H05K3/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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