METHOD OF HIGH CONTRAST POSITIVE PHOTORESIST DEVELOPING,申请号EP19850112031-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF HIGH CONTRAST POSITIVE PHOTORESIST DEVELOPING
摘要
申请公布号	EP0178495(A3)	申请公布日期	1986.07.23
申请号	EP19850112031	申请日期	1985.09.23
申请人	ALLIED CORPORATION	发明人	LEWIS, JAMES MARVIN
分类号	G03C1/72;G03F7/30;G03F7/32;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26	主分类号	G03C1/72
代理机构		代理人
主权项
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