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摘要
申请公布号
JPS6131831(B2)
申请公布日期
1986.07.23
申请号
JP19790013880
申请日期
1979.02.09
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
HANAI HIROKORE;TAI ICHIRO
分类号
H01J47/02;G01T1/185
主分类号
H01J47/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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