ESTABLISHING AND/OR EVALUATING ALIGNMENT BY MEANS OF ALIGNMENT MARKS

摘要

Un procédé d'alignement de haute précision, par exemple pour la fabrication de dispositifs à lignes très fines, utilise des paires de marques d'alignement. Une marque de chaque paire comprend deux lignes parallèles espacées (32, 34; 36, 38). L'autre marque (22; 24) comprend une encoche ou pointe de flèche présentant un sommet. En pratique, il est possible de lire de façon relativement aisée et avec une précision élevée la position du sommet par rapport aux lignes parallèle associées du motif. Le procédé peut être utilisé pour aligner un masque ou un réticule par rapport à une tranche et/ou pour évaluer la superposition réelle obtenue entre les niveaux d'un ensemble de masques ou réticules et d'une tranche.