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发明名称 DETEKTOR FUER RUECKSTREUELEKTRONEN
摘要
申请公布号 DE3500903(A1) 申请公布日期 1986.07.17
申请号 DE19853500903 申请日期 1985.01.12
申请人 FA.CARL ZEISS 发明人 KURZ,DIETER,DR.;SCHAEFER,NORBERT,DIPL.-ING.
分类号 G01Q30/00;G01Q80/00;G01T1/20;G01T1/202;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G01Q30/00
代理机构 代理人
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