| 发明名称 |
TECHNIQUE DE PASSIVATION PAR PLASMA POUR EMPECHER LA CORROSION APRES ATTAQUE DE PELLICULES D'ALUMINIUM ATTAQUEES PAR PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2487382(B1) |
申请公布日期 |
1986.07.11 |
| 申请号 |
FR19810012480 |
申请日期 |
1981.06.25 |
| 申请人 |
FAIRCHILD CAMERA INSTRUMENT CORP |
发明人 |
CHRISTOPHER H. GALFO ET ASHOK L. NALAMWAR;NALAMWAR ASHOK L |
| 分类号 |
C23F4/00;C23F11/00;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F9/00;H01L21/26 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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