发明名称 Fabrication technique
摘要
申请公布号 US3341375(A) 申请公布日期 1967.09.12
申请号 US19640381190 申请日期 1964.07.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HOCHBERG FREDERICK;REISMAN ARNOLD
分类号 H01L21/22;H01L21/32;H01L21/336;H01L27/088;H01L29/00;H01L29/78 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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