| 发明名称 |
GLOW-DISCHARGE DEPOSITION APPARATUS INCLUDING A NON-HORIZONTALLY DISPOSED CATHODE FOR DEPOSITING AMORPHOUS LAYERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2118212(B) |
申请公布日期 |
1986.07.09 |
| 申请号 |
GB19830008249 |
申请日期 |
1983.03.25 |
| 申请人 |
* ENERGY CONVERSION DEVICES INC |
发明人 |
PREM * NATH;DAVID ATTILIO * GATTUSO |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/505;H01J37/32;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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