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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6129559(B2) 申请公布日期 1986.07.07
申请号 JP19770148986 申请日期 1977.12.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUYAMA KATSUHIKO;KUSAKAWA HIROTSUGU
分类号 H01L29/80;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;H01L27/095;H01L29/76 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
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