发明名称 DICING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS61148003(A) 申请公布日期 1986.07.05
申请号 JP19840272312 申请日期 1984.12.24
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SASAKI SHIGEO
分类号 B28D5/00;H01L21/301;H01L21/78 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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