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发明名称
摘要
申请公布号
JPS61104545(U)
申请公布日期
1986.07.03
申请号
JP19840190460U
申请日期
1984.12.15
申请人
发明人
分类号
F27B9/24;H01L21/20;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
F27B9/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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