| 发明名称 |
OPTOELECTRONIC COMPARISON SCANNING APPARATUS FOR STRUCTURES ON PLANE SURFACES OR FOR PLANAR STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2169097(A) |
申请公布日期 |
1986.07.02 |
| 申请号 |
GB19850030305 |
申请日期 |
1985.12.09 |
| 申请人 |
ERWIN * SICK GMBH OPTIK-ELEKTRONIK |
发明人 |
DR ERWIN * SICK |
| 分类号 |
H05K3/00;G01B11/24;G01B11/30;G01N21/88;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/93;G02B26/12;H01L21/027;H01L21/66;(IPC1-7):G02B26/10 |
主分类号 |
H05K3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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