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发明名称 VERFAHREN ZUR CHIPTRAEGERABSENKUNG BEI ELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD237240(A1) 申请公布日期 1986.07.02
申请号 DD19850276226 申请日期 1985.05.13
申请人 VEB HALBLEITERWERK,,,,DD 发明人 BENNEMANN,MARTIN,DD;SCHADE,LOTHAR,DD
分类号 H01L21/58;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
主权项
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