SPECTROMETER OBJECTIVE FOR PARTICLE-BEAM MEASURING TECHNIQUES,申请号EP19830109566-传众专利搜索

发明名称	SPECTROMETER OBJECTIVE FOR PARTICLE-BEAM MEASURING TECHNIQUES
摘要
申请公布号	EP0105440(A3)	申请公布日期	1986.07.02
申请号	EP19830109566	申请日期	1983.09.26
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT	发明人	LISCHKE, BURKHARD, PROF. DR. ING.;PLIES, ERICH, DR. RER. NAT.
分类号	G01N23/22;G01R19/155;G01R31/302;H01J37/05;H01J37/10;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01J49/48;(IPC1-7):H01J37/05;H01J37/252	主分类号	G01N23/22
代理机构		代理人
主权项
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