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发明名称
摘要
申请公布号
JPS61103481(U)
申请公布日期
1986.07.01
申请号
JP19840189390U
申请日期
1984.12.12
申请人
发明人
分类号
C30B23/08;H01L21/203;(IPC1-7):C30B23/08
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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