发明名称
摘要
申请公布号 JPS61102053(U) 申请公布日期 1986.06.28
申请号 JP19840187740U 申请日期 1984.12.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/60;H01L23/48 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
地址