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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6128228(B2) 申请公布日期 1986.06.28
申请号 JP19760096053 申请日期 1976.08.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAHASHI SUSUMU;MURAI FUMIO;SATO NAO;SAITO KATSUTOSHI
分类号 H01L21/60;H01L21/3205;H01L23/48;H01L23/52;H01L29/41 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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