| 发明名称 |
ORGANIC SOLVENT PRECISION PAPOR DRIER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS61138583(A) |
申请公布日期 |
1986.06.26 |
| 申请号 |
JP19840260876 |
申请日期 |
1984.12.12 |
| 申请人 |
SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD |
发明人 |
TAKIMOTO HIDEYA;DOBASHI YOSHIKAZU |
| 分类号 |
B01D3/00;B08B3/08;H01L21/304 |
主分类号 |
B01D3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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