发明名称
摘要
申请公布号 JPS6197767(U) 申请公布日期 1986.06.23
申请号 JP19840184140U 申请日期 1984.12.03
申请人 发明人
分类号 G01P15/09;G01L1/16;H01L41/08;(IPC1-7):G01P15/09 主分类号 G01P15/09
代理机构 代理人
主权项
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