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发明名称 PROCEDE POUR REALISER DES COUCHES D'OXYDES PROTECTRICES
摘要
申请公布号 FR2499593(B1) 申请公布日期 1986.06.20
申请号 FR19820001777 申请日期 1982.02.04
申请人 MASCHINEN AUGSBURG NURNBERG AG 发明人 AUGUST MUHLRATZER, HANS ZEILINGER ET BRUNO STEMMLER;ZEILINGER HANS;STEMMLER BRUNO
分类号 C23C8/02;C23C8/18;(IPC1-7):C23F17/00 主分类号 C23C8/02
代理机构 代理人
主权项
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