发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 HK43586(A) 申请公布日期 1986.06.20
申请号 HK19860000435 申请日期 1986.06.09
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 AKIRA MURAMATSU
分类号 H01L21/8226;H01L21/331;H01L21/762;H01L21/8228;H01L27/02;H01L27/082;H01L29/73;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/82 主分类号 H01L21/8226
代理机构 代理人
主权项
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