发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES INFRAROTEMPFINDLICHEN SILIZIUM-SUBSTRATS MIT INTEGRIERTER VERARBEITUNGSELEKTRONIK
摘要
申请公布号 DE3038910(A1) 申请公布日期 1986.06.19
申请号 DE19803038910 申请日期 1980.10.15
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 NOTHAFT,PETER,DIPL.-PHYS.DR.
分类号 H01L27/148;H01L31/18;(IPC1-7):H01L27/14;H01L21/306;H01L21/90 主分类号 H01L27/148
代理机构 代理人
主权项
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