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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES INFRAROTEMPFINDLICHEN SILIZIUM-SUBSTRATS MIT INTEGRIERTER VERARBEITUNGSELEKTRONIK
摘要
申请公布号
DE3038910(A1)
申请公布日期
1986.06.19
申请号
DE19803038910
申请日期
1980.10.15
申请人
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH
发明人
NOTHAFT,PETER,DIPL.-PHYS.DR.
分类号
H01L27/148;H01L31/18;(IPC1-7):H01L27/14;H01L21/306;H01L21/90
主分类号
H01L27/148
代理机构
代理人
主权项
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