发明名称 Apparatus for measuring the flow of electrically neutral particles
摘要
申请公布号 US3419718(A) 申请公布日期 1968.12.31
申请号 US19650513935 申请日期 1965.12.15
申请人 GULF GENERAL ATOMIC INCORPORATED 发明人 HAMMOND ROBERT H.;JR. CHARLES H. MEYER,;GEHMAN BRUCE L.;KELLY GUY M.
分类号 C23C14/54;G01F1/00;H01J41/04 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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