| 发明名称 |
ELEKTROCHEMISCHES ENTWICKLUNGSVERFAHREN FUER REPRODUKTIONSSCHICHTEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT20394(T) |
申请公布日期 |
1986.06.15 |
| 申请号 |
AT19820107707T |
申请日期 |
1982.08.23 |
| 申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
PLIEFKE, ENGELBERT, DR. |
| 分类号 |
G03F7/26;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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