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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6190857(U)	申请公布日期	1986.06.12
申请号	JP19840175964U	申请日期	1984.11.20
申请人		发明人
分类号	C23C16/50;H01L21/285;(IPC1-7):C23C16/50	主分类号	C23C16/50
代理机构		代理人
主权项
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